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工商時報【記者涂志豪╱台北報導】

全球最大半導體設備廠應用材料全球副總裁余定陸昨(5)日表示,行動裝置 銷售力道續強,加上今年是半導體製程跨入3D架構元年,晶圓代工廠及NAND Flash廠的製程升級將帶來不錯的成長動能,預估今年晶圓生產設備市場將較去年成長10∼20%,可說是半導體設備市場大好年。

應用材料昨日舉行科技論壇,余定陸十分看好今年半導體設備市場的成長。他表示,2010年至2013年的半導體設備市場穩定,每年維持在300億美 元以上規模,看來十分健康,今年因為行動裝置出貨量將續創新高,晶圓代工廠20奈米開始量產,NAND Flash廠也積極擴產計畫,所以預估今年晶圓生產設備市場將較去年成長10∼20%,台灣仍將是全球最大的半導體設備市場。

根據應用材料的預估,2006∼2008年間全球前段晶圓製造設備市場年度平均規模約300億美元,最大的投資者為DRAM廠,但至 2010∼2012年間,市場年度平均規模上升至325億美元,晶圓代工廠已是最大投資者,而此一趨勢將持續延續到2013∼2016年,市場年度平均規 模將達320∼350億美元。

余定陸表示,今年設備市場表現比去年好的另一個原因,是半導體製程將開始往3D架構方向發展,如台積電16奈米鰭式場效電晶體(FinFET)製程 將於明年正式量產,今年包括三星、東芝等NAND Flash廠則會開始投入3D Flash晶片的生產,這些市場轉折對應用材料等設備廠來說會是個好機會。

事實上,半導體製程由2D進入3D世代後,材料及結構均需有所改變,也帶來更多選擇性蝕刻及薄膜沉積產品的商機,至於介面工程(interface engineering)也愈顯重要。

應用材料就預估,以晶圓代工產業來看,由28奈米高介電金屬閘極(HKMG)轉進16/14奈米FinFET,新的電晶體結構及材料改善通道遷移 率,提升速度並降低功耗,至於選擇性磊晶製程、金屬閘極、RTP快速升溫回火、離子植入、化學機械研磨等需求都會帶動設備銷售,這部分市場區塊規模可望較 去年成長25∼35%。

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